Gravure
Quelle est la définition de la gravure ionique réactive (RIE) ?
- AUne gravure combinant réaction chimique et bombardement ionique dans un plasma de gaz réactif
- BUne gravure par immersion de la plaquette dans une solution
- CL'abrasion de la surface de la plaquette par un tampon de polissage
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Réponse : A. Une gravure combinant réaction chimique et bombardement ionique dans un plasma de gaz réactif
La RIE est une gravure sèche combinant la réaction chimique des radicaux produits par un plasma de gaz réactif (fluoré, chloré, etc.) et le bombardement d'ions accélérés par un champ électrique. Les ions arrivant perpendiculairement à la plaquette accélèrent la réaction au fond, ce qui favorise la gravure verticale et permet un usinage très anisotrope. Contrairement à ce que suggère son nom, elle ne grave pas par les seuls ions : la synergie avec les radicaux en est l'essence.