Wat is de belangrijkste reden waarom coatings van bijvoorbeeld yttriumoxide (Y2O3) worden gebruikt op de binnenwand en onderdelen van plasma-etsapparatuur?

Antwoord: A. Ze zijn bestand tegen plasma, vooral fluorhoudend plasma, en worden moeilijk aangetast, waardoor deeltjes en verontreiniging afnemen

Als de binnenwand van de apparatuur door plasma wordt aangetast, veroorzaakt dit metaalverontreiniging, bijvoorbeeld door aluminium, en deeltjes, en verandert de toestand van de wand en daarmee de bewerkingscondities. Bij yttriumoxide e.d. blijft het door reactie met fluor gevormde yttriumfluoride, dat moeilijk vluchtig is, op het oppervlak achter, waardoor het chemisch stabiel is en moeilijk wordt aangetast door fluorhoudend plasma; het wordt daarom gebruikt als coating van de binnenwand en onderdelen. Ook worden dichtere coatingtechnieken dan thermisch spuiten ontwikkeld.