Quelle méthode de gravure au stade de la recherche neutralise les ions produits par un plasma avant de les diriger sur la plaquette, afin de limiter les dommages dus aux charges et aux ultraviolets ?

Réponse : B. Gravure par faisceau de particules neutres

En gravure par faisceau de particules neutres, les ions du plasma perdent leur charge en traversant une grille percée de trous fins ou analogue, et des particules neutres de direction homogène sont envoyées sur la plaquette. Sans charge, elles ne provoquent ni dommages ni déviation liés aux charges, et les ultraviolets du plasma étant bloqués par la grille, presque aucun défaut cristallin n'est créé. On en attend des applications aux usinages sensibles aux dommages : semi-conducteurs composés, matériaux 2D, structures ultrafines des GAA, etc.