식각
플라즈마 식각 장치의 내벽이나 부품 표면에 산화이트륨(Y2O3) 등의 코팅이 사용되는 주된 이유는?
- A플라즈마, 특히 불소계 플라즈마에 강하고 잘 깎이지 않아 파티클이나 오염을 줄일 수 있기 때문
- B전기를 잘 통하기 때문
- C외관을 아름답게 하기 위해서
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정답: A. 플라즈마, 특히 불소계 플라즈마에 강하고 잘 깎이지 않아 파티클이나 오염을 줄일 수 있기 때문
장치 내벽이 플라즈마에 깎이면 알루미늄 등의 금속 오염이나 파티클의 원인이 되고, 벽의 상태가 변하여 가공 조건도 변화합니다. 산화이트륨 등은 불소와 반응해 생기는 불화이트륨이 휘발하기 어려워 표면에 머무르기 때문에, 불소계 플라즈마에 대해 화학적으로 안정되고 잘 깎이지 않아 내벽이나 부품의 코팅에 사용됩니다. 용사보다 치밀한 코팅 기술의 개발도 진행되고 있습니다.
- A. 맞습니다. 플라즈마에 강하고 파티클이나 오염을 줄일 수 있습니다.
- B. 산화이트륨은 절연성 세라믹스입니다.
- C. 외관을 위한 것이 아닙니다.