プラズマエッチング装置の内壁や部品の表面に、酸化イットリウム(Y2O3)などのコーティングが使われる主な理由はどれか。

正解：A. プラズマ、特にフッ素系のプラズマに強く、削れにくいため、パーティクルや汚染を減らせる

装置の内壁がプラズマで削れると、パーティクルや金属汚染の原因になり、加工条件も変化します。酸化イットリウムなどはフッ素系プラズマに対して化学的に安定で削れにくいため、内壁やリング部品のコーティングに使われています。

• A. 正しい。プラズマに強く、パーティクルや汚染を減らせます。
• B. 酸化イットリウムは絶縁性のセラミックスです。
• C. 見た目のためではありません。