Was ist der Hauptgrund, die Innenwände und Bauteiloberflächen von Plasmaätzanlagen mit Yttriumoxid (Y2O3) u. Ä. zu beschichten?

Antwort: A. Weil es gegen Plasma, besonders Fluorplasma, beständig ist und kaum abgetragen wird, sodass Partikel und Kontamination verringert werden

Wird die Innenwand der Anlage vom Plasma abgetragen, führt das zu metallischer Kontamination, etwa durch Aluminium, und zu Partikeln, und der Wandzustand und damit die Prozessbedingungen ändern sich. Bei Yttriumoxid u. Ä. ist das durch die Reaktion mit Fluor entstehende Yttriumfluorid kaum flüchtig und verbleibt auf der Oberfläche; daher ist es gegenüber Fluorplasma chemisch stabil und wird kaum abgetragen und wird für Beschichtungen von Innenwänden und Bauteilen verwendet. Auch dichtere Beschichtungstechniken als das Spritzen werden entwickelt.