在電漿蝕刻設備的內壁或零件表面，使用氧化釔（Y2O3）等塗層的主要理由是下列何者？

正確答案：A. 對電漿，尤其是氟系電漿耐受性強、不易被蝕除，因此可減少微粒與污染

設備內壁一旦被電漿蝕除，就會成為鋁等金屬污染與微粒的來源，壁面狀態也會改變，使加工條件跟著變動。氧化釔等材料與氟反應所生成的氟化釔不易揮發而停留在表面，因此對氟系電漿具有化學穩定性、不易被蝕除，被用於內壁與零件的塗層。比起熔射，更緻密的塗層技術也正持續開發中。

• A. 正確。耐電漿，可減少微粒與污染。
• B. 氧化釔是絕緣性的陶瓷。
• C. 並不是為了外觀。