Quel phénomène, en gravure plasma de motifs à fort rapport d'aspect, correspond au blocage des électrons par les flancs, à l'accumulation de charges négatives en haut des motifs et à la déviation des ions positifs au fond, provoquant anomalies de profil et dommages ?

Réponse : A. Effet d'ombrage électronique

Les électrons, de directions aléatoires, pénètrent difficilement au fond des motifs étroits, et des charges négatives s'accumulent sur les flancs en haut des motifs. Les ions, accélérés verticalement par le champ électrique, atteignent au contraire le fond et le chargent positivement. Ce déséquilibre de charges freine et dévie les ions suivants, provoquant ralentissement de la gravure au fond, notching, torsion et dommages au diélectrique de grille. On y remédie notamment par plasma pulsé, qui apporte ions négatifs et électrons pour neutraliser les charges.