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Gravure

Dans un plasma de gravure usuel, quelle est la relation entre le nombre d'ions et le nombre de radicaux ?

  1. AIls sont toujours en nombre égal
  2. BLes radicaux sont bien plus nombreux que les ions
  3. CLes ions sont bien plus nombreux que les radicaux
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Réponse : B. Les radicaux sont bien plus nombreux que les ions

Dans un plasma, la dissociation des molécules en radicaux, qui demande moins d'énergie, est plus fréquente que leur ionisation ; les radicaux, électriquement neutres, ne sont pas attirés par les parois et ont une durée de vie plus longue. La densité de radicaux dépasse donc généralement celle des ions de 2 à 3 ordres de grandeur ou plus. Les rôles se répartissent ainsi : les radicaux assurent l'essentiel de la réaction chimique, tandis que les ions, peu nombreux, l'activent par bombardement et en déterminent la direction.

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