Ätzen

Welcher Zusammenhang zwischen der Zahl von Ionen und Radikalen gilt im für das Ätzen verwendeten Plasma allgemein?

  1. ASie sind stets gleich zahlreich
  2. BRadikale sind weit zahlreicher als Ionen
  3. CIonen sind weit zahlreicher als Radikale
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Antwort: B. Radikale sind weit zahlreicher als Ionen

Im Plasma ist es wahrscheinlicher, dass Moleküle mit geringerer Energie zu Radikalen dissoziieren, als dass sie zu Ionen ionisiert werden; Radikale tragen keine Ladung, werden nicht zur Wand gezogen und sind langlebiger. Die Radikaldichte ist daher im Allgemeinen um 2 bis 3 Größenordnungen oder mehr höher als die Ionendichte. Es besteht eine Rollenteilung: Radikale tragen die chemische Reaktion, und die weniger zahlreichen Ionen fördern die Reaktion durch Beschuss und bestimmen die Richtung.

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