エッチングに使う一般的なプラズマの中で、イオンとラジカルの数の関係として正しいものはどれか。

正解：B. ラジカルの方がイオンよりはるかに多い

プラズマ中では、分子が電離してイオンになるよりも、解離してラジカルになる方が起こりやすく、ラジカルは電荷をもたないため寿命も長くなります。そのためラジカルの密度はイオンより何桁も高いのが一般的です。ラジカルが化学反応を担い、イオンの衝撃が反応を方向づけます。

• A. 生成のしやすさと寿命が違うので、数は異なります。
• B. 正しい。ラジカルの方が何桁も多いのが一般的です。
• C. 一般的な条件ではイオンの方が少なくなります。