Quel est généralement l'effet de l'ajout d'un peu d'oxygène à une gravure par gaz fluorés ?

Réponse : C. Le dépôt de polymères sur les flancs et ailleurs diminue, et l'érosion de la résine s'accélère

L'oxygène brûle les polymères carbonés et les élimine sous forme de CO ou de CO2, ce qui réduit le dépôt sur les flancs et en surface. En se combinant au carbone des fluorocarbones, il augmente aussi la quantité de radicaux fluor et facilite la gravure. En revanche, la résine étant aussi plus facilement érodée par l'oxygène, la sélectivité par rapport au masque tend à baisser. La quantité ajoutée est ajustée au pour cent près pour équilibrer profil et sélectivité.