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Gravure

Comment appelle-t-on l'anomalie de profil en gravure sèche par laquelle le fond d'une tranchée est creusé plus profondément le long des flancs qu'au centre, formant une fine rainure ?

  1. AMicrotranchée (microtrenching)
  2. BBowing
  3. CRecul du masque
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Réponse : A. Microtranchée (microtrenching)

La microtranchée est un creusement local plus profond du fond d'une tranchée ou d'un trou le long des flancs. On l'attribue à la concentration aux angles du fond des ions réfléchis par les flancs inclinés, ainsi qu'à la déviation des ions par les charges des flancs. En gravure de grille ou de STI, elle peut percer la sous-couche depuis les angles du fond ou poser des problèmes de remplissage ultérieur et de concentration de champ ; on la limite en ajustant la pression, la polarisation et les gaz.

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