Français
Menu

Gravure

Quelle méthode mesure la température et la densité électroniques d'un plasma à partir du courant obtenu en faisant varier la tension appliquée à une fine électrode insérée dans le plasma ?

  1. AMéthode des quatre pointes
  2. BDiffraction des rayons X
  3. CSonde de Langmuir
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : C. Sonde de Langmuir

La sonde de Langmuir consiste à insérer une petite électrode (sonde) dans le plasma et à mesurer le courant en faisant varier la tension appliquée. La courbure de la caractéristique courant-tension donne la température électronique (quelques eV), les courants de saturation la densité électronique et ionique, et le coude de la courbe notamment le potentiel plasma. Imaginée par Langmuir dans les années 1920, c'est la méthode de diagnostic la plus élémentaire ; il faut toutefois tenir compte de la perturbation du plasma par la sonde et des dépôts sur celle-ci.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Gravure

  1. Comment appelle-t-on l'anomalie de profil en gravure sèche par laquelle le fond d'une tranchée est creusé plus profondément le long des flancs qu'au centre, formant une fine rainure ?
  2. En exposant le silicium simultanément à du XeF2 gazeux et à un faisceau d'ions argon, la gravure progresse beaucoup plus vite que la somme des deux traitements séparés. Quelle propriété de la gravure sèche cela démontre-t-il ?
  3. Quel phénomène, en gravure plasma de motifs à fort rapport d'aspect, correspond au blocage des électrons par les flancs, à l'accumulation de charges négatives en haut des motifs et à la déviation des ions positifs au fond, provoquant anomalies de profil et dommages ?
  4. Quelle méthode de gravure au stade de la recherche neutralise les ions produits par un plasma avant de les diriger sur la plaquette, afin de limiter les dommages dus aux charges et aux ultraviolets ?
  5. Pourquoi utilise-t-on principalement des revêtements d'oxyde d'yttrium (Y2O3) ou analogues sur les parois internes et les pièces des équipements de gravure plasma ?

Comparatifs sur ce thème