Lorsqu'un film de 1 µm d'épaisseur est gravé par gravure humide parfaitement isotrope jusqu'à atteindre exactement la sous-couche, quel est l'ordre de grandeur de la gravure latérale depuis le bord du masque (sous-gravure) ?

Réponse : A. Environ 1 µm

En gravure isotrope, la gravure progresse à la même vitesse verticalement et latéralement ; au moment où 1 µm a été gravé et la sous-couche atteinte, environ 1 µm a aussi été gravé latéralement depuis le bord du masque (sous-gravure). La surgravure accroît encore la gravure latérale. Il en résulte une variation de dimension au moins comparable à l'épaisseur du film, ce qui rend la méthode inadaptée aux motifs plus fins que l'épaisseur. À l'inverse, cette propriété est exploitée en MEMS pour évider le dessous des structures.