厚さ1 µmの膜を、完全に等方的なウェットエッチングでちょうど下地まで削ったとき、マスクの端から横方向に削れる量(アンダーカット)のおよその大きさはどれか。

正解：A. 約1 µm

等方的なエッチングでは、縦と横に同じ速さで削れるため、1 µm削って下地に達したときには、マスクの端から横方向にも約1 µm削れています。そのため、膜厚と同程度の寸法の変化が生じ、微細なパターンの加工には向きません。

• A. 正しい。縦と同じ約1 µmだけ横にも削れます。
• B. 等方的なら横の量は縦とほぼ同じで、10倍にはなりません。
• C. 横方向に削れないのは理想的な異方性エッチングの場合です。