Wie groß ist ungefähr die seitliche Abtragung vom Maskenrand (Unterätzung, Undercut), wenn eine 1 µm dicke Schicht mit vollständig isotropem Nassätzen genau bis zur Unterlage abgetragen wird?

Antwort: A. Etwa 1 µm

Beim isotropen Ätzen wird vertikal und lateral gleich schnell abgetragen; wenn 1 µm abgetragen ist und die Unterlage erreicht wird, ist auch seitlich vom Maskenrand etwa 1 µm abgetragen (Unterätzung). Beim Überätzen nimmt die seitliche Abtragung weiter zu. Es entsteht daher eine Maßänderung in der Größenordnung der Schichtdicke oder mehr, und das Verfahren eignet sich nicht zur Bearbeitung von Strukturen, die schmaler als die Schichtdicke sind. Umgekehrt wird diese Eigenschaft z. B. bei MEMS genutzt, um Strukturen zu unterhöhlen.