두께 1 µm의 막을 완전히 등방적인 습식 식각으로 딱 하지까지 깎았을 때, 마스크 끝에서 가로 방향으로 깎이는 양(언더컷)의 대략적인 크기는?

정답: A. 약 1 µm

등방적인 식각에서는 세로와 가로로 같은 속도로 깎이므로, 1 µm 깎아 하지에 도달했을 때에는 마스크 끝에서 가로 방향으로도 약 1 µm 깎여 있습니다(언더컷). 오버 식각으로 가로 방향 식각량은 더 늘어납니다. 그 때문에 막 두께와 비슷하거나 그 이상의 치수 변화가 생겨, 막 두께보다 가는 패턴의 가공에는 적합하지 않습니다. 반대로 MEMS에서 구조 아래를 파내는 용도 등에서는 이 성질을 이용합니다.

• A. 맞습니다. 세로와 같은 약 1 µm만큼 가로로도 깎입니다.
• B. 등방적이라면 가로 양은 세로와 거의 같으며 10배가 되지는 않습니다.
• C. 가로 방향으로 깎이지 않는 것은 이상적인 이방성 식각의 경우입니다.