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Gravure

Quel indicateur exprime l'inclinaison des flancs d'un trou ou d'une tranchée gravé par rapport à la verticale ?

  1. ALe rapport d'aspect
  2. BL'angle de pente (taper angle)
  3. CLa sélectivité
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Réponse : B. L'angle de pente (taper angle)

L'angle de pente exprime l'inclinaison des flancs obtenus par gravure ; plus il est proche de la verticale (90°), plus la gravure est anisotrope. Un dépôt de passivation abondant donne une forme effilée (angle plus faible). Pour les étapes ultérieures de remplissage, une légère inclinaison d'environ 85° facilite parfois un remplissage sans cavités ; à l'inverse, les grilles et ailettes sont rendues quasi verticales pour réduire l'écart de dimension entre haut et bas : l'angle est contrôlé selon l'application.

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