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Gravure

Quelle technique amincit progressivement par plasma les motifs de résine réalisés par exposition, afin d'obtenir des traits plus fins que la limite de l'exposition ?

  1. ARognage de résine (trimming, slimming)
  2. BRefusion
  3. CRetrait du bourrelet de bord
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Réponse : A. Rognage de résine (trimming, slimming)

Le rognage de résine consiste à éroder progressivement et de façon isotrope les motifs de résine par plasma oxygéné ou analogue pour réduire la largeur des traits. Par exemple, un trait de 50 nm obtenu par exposition est ramené à 30 nm par rognage ; la technique a servi à former des grilles plus fines que la résolution lithographique. Le pas (période de répétition) n'est cependant pas réduit, et la dispersion de la quantité érodée ainsi que la LER se reportent directement sur la dispersion dimensionnelle ; le contrôle est donc essentiel.

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