露光でつくったレジストのパターンを、プラズマで少しずつ細らせて、露光の限界より細い線をつくる手法はどれか。

正解：A. レジストトリミング(スリミング)

レジストトリミングは、酸素系のプラズマなどでレジストのパターンを等方的に少しずつ削り、線幅を細くする手法です。リソグラフィで解像できる幅より細いゲートなどを形成するのに使われてきました。削る量のばらつきが寸法のばらつきになるため、制御が重要です。

• A. 正しい。レジストを細らせて細い線をつくります。
• B. リフローは加熱して膜を流動させる処理です。
• C. エッジビードリムーバルはウエハの外周のレジストを除く処理です。