노광으로 만든 레지스트 패턴을 플라즈마로 조금씩 가늘게 하여 노광 한계보다 가는 선을 만드는 기법은?

정답: A. 레지스트 트리밍(슬리밍)

레지스트 트리밍은 산소계 플라즈마 등으로 레지스트 패턴을 등방적으로 조금씩 깎아 선폭을 가늘게 하는 기법입니다. 예를 들어 노광으로 50 nm의 선을 만들고 트리밍으로 30 nm로 만드는 식으로, 리소그래피로 해상할 수 있는 폭보다 가는 게이트를 형성하는 데 사용되어 왔습니다. 다만 피치(반복 간격)는 가늘어지지 않고, 깎는 양의 편차나 LER이 그대로 치수 편차가 되므로 제어가 중요합니다.

• A. 맞습니다. 레지스트를 가늘게 하여 가는 선을 만듭니다.
• B. 리플로는 가열하여 막을 유동시키는 처리입니다.
• C. 에지 비드 리무벌은 웨이퍼 외주의 레지스트를 제거하는 처리입니다.