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Gravure

Que faut-il pour graver un oxyde en s'arrêtant sur le nitrure sous-jacent ?

  1. AUne faible sélectivité
  2. BUne gravure isotrope
  3. CUne sélectivité de gravure élevée de l'oxyde par rapport au nitrure
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Réponse : C. Une sélectivité de gravure élevée de l'oxyde par rapport au nitrure

Pour s'arrêter sur le nitrure, il faut des conditions gravant rapidement l'oxyde et presque pas le nitrure. Avec des gaz fluorocarbonés riches en carbone comme le C4F6 ou le C4F8, des polymères s'accumulent sur le nitrure et stoppent la réaction, tandis que sur l'oxyde l'oxygène consomme les polymères et la gravure progresse ; on obtient ainsi une sélectivité de plusieurs dizaines ou plus par rapport au nitrure. C'est important notamment pour la formation des contacts auto-alignés.

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