プラズマの高周波電力をオン・オフしながらエッチングするパルスプラズマの利点として正しいものはどれか。

正解：C. 電子温度やイオンのエネルギーを制御しやすく、チャージアップやダメージを抑えやすい

パルスプラズマでは、電力をオフにしている間に電子温度が下がり、負イオンなども生じて、ウエハ表面の帯電が中和されやすくなります。イオンのエネルギーや、ラジカルの種類の比率も調整しやすくなるため、微細加工でのダメージや形状異常を抑える手段として使われています。