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Gravure

Quel est un exemple d'anomalie de profil observée en gravure à fort rapport d'aspect ?

  1. ALe bowing, élargissement au milieu du trou, ou le twisting, déviation du trou
  2. BLe dishing, creusement en cuvette des interconnexions par CMP
  3. CL'ombrage créé par une implantation inclinée
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Réponse : A. Le bowing, élargissement au milieu du trou, ou le twisting, déviation du trou

En gravure de trous profonds, des anomalies de profil apparaissent facilement : bowing, où les ions diffusés par le bord du masque frappent les flancs et élargissent le milieu du trou ; twisting, où le fond du trou se charge et dévie les ions, courbant ou tordant le trou ; ou encore effilement empêchant l'ouverture du fond. Pour les trous mémoire de la 3D NAND, obtenir un diamètre identique en haut et en bas et graver droit à travers plusieurs centaines de couches est un défi majeur, d'où l'introduction notamment de la gravure cryogénique.

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