Quelle est la caractéristique de la gravure en aval (downstream), qui n'apporte à la plaquette que les radicaux produits par le plasma ?

Réponse : B. Le bombardement ionique étant quasi inexistant, la gravure est isotrope et peu endommageante

En gravure en aval (plasma déporté), la zone de génération du plasma est éloignée de la plaquette ; les ions et électrons se recombinent en chemin et disparaissent, si bien que seuls les radicaux neutres à longue durée de vie atteignent la plaquette. Sans impact ionique et avec les ultraviolets du plasma bloqués, les dommages sont faibles et la gravure est isotrope. Elle sert au retrait de résine, au retrait de films dans les étapes sensibles aux dommages ou au retrait du SiGe entre les nanofeuillets.