Ätzen

Welches Beispiel für Formabweichungen beim Ätzen mit hohem Aspektverhältnis ist richtig?

  1. ABowing, bei dem das Loch in der Mitte breiter wird, oder Twisting, bei dem das Loch krumm wird
  2. BDishing, bei dem Leitbahnen beim CMP schüsselförmig vertieft werden
  3. CShadowing, bei dem bei geneigter Implantation Schatten entstehen
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Antwort: A. Bowing, bei dem das Loch in der Mitte breiter wird, oder Twisting, bei dem das Loch krumm wird

Beim Ätzen tiefer Löcher treten leicht Formabweichungen auf: Bowing, bei dem am Maskenrand gestreute Ionen auf die Seitenwand treffen und das Loch in der Mitte breiter wird, Twisting, bei dem sich der Lochboden auflädt, Ionen abgelenkt werden und das Loch krumm oder verdreht wird, sowie Verjüngung, bei der sich der Boden nicht öffnet. Bei den Memory Holes des 3D-NAND ist es eine große Herausforderung, den Durchmesser eines Lochs durch Hunderte Lagen oben und unten gleich zu halten und gerade zu ätzen; dafür wird u. a. Kryoätzen eingeführt.

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