エッチング

高アスペクト比のエッチングで見られる形状異常の例として正しいものはどれか。

  1. A穴の途中が太くなるボーイングや、穴が曲がるツイスト
  2. BCMPで配線が皿状にくぼむディッシング
  3. C傾けた注入で陰ができるシャドウイング
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正解：A. 穴の途中が太くなるボーイングや、穴が曲がるツイスト

深い穴のエッチングでは、側壁に当たるイオンによって穴の途中が太くなるボーイングや、帯電などの影響で穴が曲がったりねじれたりするツイストなどの形状異常が起こりやすくなります。3D NANDのメモリホールの加工などでは、これらを抑えることが大きな課題です。

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