식각

고종횡비 식각에서 나타나는 형상 이상의 예로 올바른 것은?

  1. A구멍의 중간이 굵어지는 보잉이나 구멍이 휘는 트위스트
  2. BCMP에서 배선이 접시 모양으로 움푹 패는 디싱
  3. C기울인 주입에서 그림자가 생기는 섀도잉
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정답: A. 구멍의 중간이 굵어지는 보잉이나 구멍이 휘는 트위스트

깊은 구멍 식각에서는 마스크 가장자리에서 산란된 이온이 측벽에 부딪혀 구멍의 중간이 굵어지는 보잉, 구멍 바닥이 대전되어 이온이 휘면서 구멍이 구부러지거나 비틀리는 트위스트, 점점 좁아져 바닥이 열리지 않는 것 등의 형상 이상이 일어나기 쉽습니다. 3D NAND의 메모리 홀에서는 수백 층을 관통하는 구멍의 지름을 위아래로 일정하게 하고 똑바로 파는 것이 큰 과제이며, 극저온 식각 등이 도입되고 있습니다.

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