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Gravure

Comment appelle-t-on le fait de poursuivre la gravure pendant un temps donné après la détection de fin d'attaque, afin de retirer le film à coup sûr sur toute la plaquette ?

  1. ASurgravure
  2. BAshing
  3. CDépôt
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Réponse : A. Surgravure

En raison des dispersions de vitesse de gravure et d'épaisseur sur la plaquette ou des films subsistant sur les flancs des marches, une partie du film peut rester au moment de la détection de fin d'attaque. On procède donc à une surgravure, par exemple d'environ 20 à 50 % de la durée de la gravure principale, pour un retrait complet. La sous-couche exposée continuant d'être attaquée pendant ce temps, on passe généralement à des conditions de sélectivité élevée par rapport à la sous-couche.

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