식각

식각의 종점을 검출한 후, 웨이퍼 전면에서 막을 확실히 제거하기 위해 일정 시간 더 식각을 계속하는 것을 무엇이라고 부르는가?

  1. A오버 식각
  2. B애싱
  3. C디포지션
정답과 해설 보기

정답: A. 오버 식각

웨이퍼 면내의 식각 속도나 막 두께의 편차, 단차 측벽에 남는 막 등으로 인해 종점을 검출한 시점에도 일부에 막이 남아 있을 수 있습니다. 그래서 예를 들어 주 식각 시간의 20~50% 정도의 오버 식각을 수행하여 확실히 제거합니다. 그동안 노출된 하지가 계속 깎이므로, 하지에 대한 선택비가 높은 조건으로 전환하는 것이 일반적입니다.

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