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Gravure

Quel indicateur exprime la faiblesse de la dispersion de la vitesse de gravure sur la plaquette ?

  1. ALa sélectivité
  2. BL'uniformité
  3. CLe rapport d'aspect
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Réponse : B. L'uniformité

L'uniformité exprime dans quelle mesure la vitesse de gravure et le profil sont homogènes entre le centre et la périphérie de la plaquette, par exemple en pourcentage selon « (max − min) ÷ (2 × moyenne) ». Une mauvaise uniformité provoque localement des résidus ou une surgravure et réduit le rendement des puces périphériques. On l'améliore jusqu'à quelques % ou moins en ajustant la distribution de densité du plasma, l'écoulement des gaz, le contrôle par zones de la température de la plaquette et l'anneau de focalisation.

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