Ätzen

Wie heißt das Fortsetzen des Ätzens für eine bestimmte Zeit nach Erkennen des Ätzendpunkts, um die Schicht über den gesamten Wafer sicher zu entfernen?

  1. AÜberätzen (Over-etching)
  2. BAshing
  3. CDeposition
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Antwort: A. Überätzen (Over-etching)

Wegen der Streuung von Ätzrate und Schichtdicke über den Wafer und wegen Schichten, die an den Seitenwänden von Stufen zurückbleiben, kann auch zum Zeitpunkt der Endpunkterkennung stellenweise noch Schicht verblieben sein. Daher wird ein Überätzen von beispielsweise etwa 20 bis 50 % der Hauptätzzeit durchgeführt, um sicher zu entfernen. Da dabei die freiliegende Unterlage weiter abgetragen wird, wird üblicherweise auf Bedingungen mit hoher Selektivität zur Unterlage umgeschaltet.

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