식각

웨이퍼 면내에서 식각 속도 편차의 작음을 나타내는 지표는?

  1. A선택비
  2. B균일도(유니포미티)
  3. C종횡비
정답과 해설 보기

정답: B. 균일도(유니포미티)

균일도는 웨이퍼의 중심과 외주 등에서 식각 속도나 가공 형상이 얼마나 고른지를 나타내며, 예를 들어 「(최댓값 − 최솟값)÷(2 × 평균)」의 백분율로 표시합니다. 균일도가 나쁘면 위치에 따라 덜 깎이거나 너무 깎이는 일이 생겨 외주 칩의 수율이 떨어집니다. 플라즈마의 밀도 분포, 가스 흐름, 웨이퍼 온도의 존 제어, 포커스 링 등을 조정하여 수 % 이하로 개선합니다.

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식각의 다른 문제

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