蝕刻 表示晶圓面內蝕刻速率變異之小的指標是下列何者？ A選擇比 B均勻性 C縱橫比 查看答案與解析 正確答案：B. 均勻性 均勻性表示晶圓中心與外圍等處的蝕刻速率或加工形狀有多一致，例如以「(最大值 − 最小值)÷(2 × 平均值)」的百分比表示。均勻性不佳時，會因位置而出現蝕刻不足或過度蝕刻，使外圍晶片的良率下降。可藉由調整電漿的密度分布、氣體流動、晶圓溫度的分區控制、聚焦環等，改善至數%以下。