エッチング

ウエハ面内でのエッチング速度のばらつきの小ささを表す指標はどれか。

  1. A選択比
  2. B均一性(ユニフォーミティ)
  3. Cアスペクト比
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正解：B. 均一性(ユニフォーミティ)

均一性は、ウエハの中心と外周などでエッチング速度や加工形状がどれだけそろっているかを表します。均一性が悪いと、場所によって削り残しや削りすぎが起こるため、プラズマの分布やガスの流れ、ウエハ温度などを調整して改善します。

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