エッチング

ポリシリコンゲートのドライエッチングによく使われるガスはどれか。

  1. A窒素(N2)
  2. Bヘリウム(He)
  3. C塩素(Cl2)や臭化水素(HBr)などのハロゲン系ガス
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正解：C. 塩素(Cl2)や臭化水素(HBr)などのハロゲン系ガス

ポリシリコンのエッチングには、塩素や臭化水素などのハロゲン系ガスがよく使われます。シリコンと反応して揮発性の塩化物や臭化物になり、下地のゲート酸化膜との選択比を高くとれるためです。

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