Ätzen

Welche Gase werden häufig zum Trockenätzen von Polysilizium-Gates verwendet?

  1. AStickstoff (N2)
  2. BHelium (He)
  3. CHalogenhaltige Gase wie Chlor (Cl2) oder Bromwasserstoff (HBr)
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Antwort: C. Halogenhaltige Gase wie Chlor (Cl2) oder Bromwasserstoff (HBr)

Zum Ätzen von Polysilizium werden häufig halogenhaltige Gase wie Chlor und Bromwasserstoff verwendet. Sie reagieren mit Silizium zu flüchtigem SiCl4 oder SiBr4, reagieren aber kaum mit Oxid, sodass gegenüber dem dünnen Gateoxid darunter eine hohe Selektivität von 100 oder mehr erreichbar ist. HBr hat zudem den Vorteil, an den Seitenwänden leicht einen Schutzfilm zu bilden und so leicht vertikale Profile zu liefern. Die Menge des Schutzfilms wird durch etwas Sauerstoffzugabe eingestellt.

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