식각
패턴이 가늘고 깊어질수록 식각 속도가 저하되는 현상을 무엇이라고 부르는가?
- A오토도핑
- B종횡비 의존 식각(ARDE, 마이크로로딩 효과)
- C디싱
정답과 해설 보기
정답: B. 종횡비 의존 식각(ARDE, 마이크로로딩 효과)
가늘고 깊은 구멍의 바닥에는 라디칼이 벽에 충돌해 소실되거나 이온이 대전으로 인해 휘어져 닿기 어렵고, 반응 생성물도 배출되기 어렵기 때문에 종횡비가 클수록 식각 속도가 느려집니다. 이 현상이 ARDE(마이크로로딩 효과)이며, 같은 웨이퍼에서도 가는 구멍은 얕고 굵은 구멍은 깊어져 치수에 따라 깊이가 맞지 않는 원인이 됩니다. 식각 정지층이나 조건의 조정으로 보완합니다.