Wie heißt das Phänomen, dass die Ätzrate sinkt, je schmaler und tiefer die Struktur wird?

Antwort: B. Aspektverhältnisabhängiges Ätzen (ARDE, Microloading-Effekt)

Zum Boden schmaler, tiefer Löcher gelangen Radikale schwer, weil sie an den Wänden verloren gehen, und Ionen werden durch Aufladung abgelenkt; zudem werden Reaktionsprodukte schwer abgeführt. Daher sinkt die Ätzrate mit steigendem Aspektverhältnis. Dieses Phänomen ist ARDE (Microloading-Effekt): Auf demselben Wafer werden schmale Löcher flach und breite Löcher tief, und die Tiefe ist je nach Abmessung nicht einheitlich. Ausgeglichen wird dies durch Ätzstoppschichten und Prozessbedingungen.