Welche Aussage zum anisotropen Ätzen ist richtig?

Antwort: A. Das Ätzen schreitet überwiegend in vertikaler Richtung voran und kaum seitlich

Beim anisotropen Ätzen schreitet das Ätzen durch den Aufprall von im elektrischen Feld senkrecht beschleunigten Ionen und durch die Wirkung eines Schutzfilms an den Seitenwänden bevorzugt in vertikaler Richtung voran, während seitliches Ätzen unter die Maske kaum auftritt. Daher kann das Maskenmuster ohne Maßänderung exakt übertragen werden, und feine, vertikale Formen wie Breiten von einigen zehn nm bei Tiefen von einigen µm lassen sich bearbeiten. Das Ätzen mit gleicher Geschwindigkeit in alle Richtungen ist das isotrope Ätzen.