식각
이방성 식각에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A주로 수직 방향으로 식각이 진행되고, 가로 방향으로는 거의 진행되지 않는다
- B모든 방향으로 같은 속도로 식각이 진행된다
- C마스크 재료만 선택적으로 깎인다
정답과 해설 보기
정답: A. 주로 수직 방향으로 식각이 진행되고, 가로 방향으로는 거의 진행되지 않는다
이방성 식각에서는 전계로 수직 가속된 이온의 충격과 측벽을 보호하는 보호막의 작용으로 수직 방향의 식각이 우선적으로 진행되고, 마스크 아래로 파고드는 가로 방향 식각은 거의 일어나지 않습니다. 그래서 마스크 패턴을 치수 변화 없이 정확하게 전사할 수 있고, 폭 수십 nm, 깊이 수 µm와 같은 미세하고 수직인 형상을 가공할 수 있습니다. 모든 방향으로 같은 속도로 진행되는 것은 등방성 식각입니다.