에피택셜 성장

에피택셜 성장에 대한 설명으로 올바른 것은?

  1. A단결정 기판 위에 기판의 결정 방위를 맞추어 단결정 박막을 성장시키는 것
  2. B기판 위에 비정질 막을 증착하는 것
  3. C기판을 고온에서 녹여 재결정시키는 것
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정답: A. 단결정 기판 위에 기판의 결정 방위를 맞추어 단결정 박막을 성장시키는 것

에피택셜 성장에서는 기판의 결정 배열을 이어받도록 원자가 쌓여 기판과 같은 방위를 가진 단결정 막이 만들어집니다. 기판과는 별개로 불순물 농도나 재료를 선택할 수 있고 CZ 웨이퍼보다 결함이 적은 층을 만들 수 있어서, 파워 디바이스의 저농도 드리프트층, CMOS 이미지 센서용 기판, 트랜지스터 소스·드레인의 SiGe, LED와 레이저의 다층 구조 등에 사용됩니다.

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