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Dépôt (CVD et PVD)

Quelle est la signification correcte du « rendement de pulvérisation » ?

  1. ALe temps nécessaire au dépôt
  2. BLa proportion de bons produits par plaquette
  3. CLe nombre d'atomes éjectés par ion incident sur la cible
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Réponse : C. Le nombre d'atomes éjectés par ion incident sur la cible

Le rendement de pulvérisation exprime combien d'atomes sont éjectés par ion frappant la cible ; il vaut en gros 0,5 à 3 pour des ions argon de quelques centaines d'eV. Il croît avec l'énergie et la masse de l'ion (plus elle est proche de celle des atomes de la cible) ainsi qu'avec l'incidence oblique. Il varie fortement selon le matériau : à conditions égales, la vitesse de dépôt diffère d'un métal à l'autre, et il intervient aussi dans la vitesse d'élimination par pulvérisation en gravure.

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