박막 증착(CVD와 PVD)

스퍼터링의 '스퍼터 수율'의 의미로 올바른 것은?

  1. A성막에 걸리는 시간
  2. B웨이퍼 1장당 양품의 비율
  3. C타깃에 입사한 이온 1개당 튀어나오는 원자의 수
정답과 해설 보기

정답: C. 타깃에 입사한 이온 1개당 튀어나오는 원자의 수

스퍼터 수율은 타깃에 충돌한 이온 1개당 몇 개의 원자가 튀어나오는지를 나타내며, 수백 eV의 아르곤 이온에서는 대체로 0.5~3 정도입니다. 이온의 에너지가 높을수록, 이온이 무거울수록(타깃 원자에 가까운 질량일수록) 커지고, 비스듬한 입사에서도 증가합니다. 재료에 따라 크게 다르므로 같은 조건에서도 금속마다 성막 속도가 다르며, 식각에서 스퍼터 제거 속도와도 관련됩니다.

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