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Dépôt (CVD et PVD)

Dans un équipement de pulvérisation, quel est l'objectif d'une plaque percée de nombreux trous (collimateur) placée entre la cible et la plaquette ?

  1. ABloquer les atomes obliques et ne laisser passer que ceux proches de la verticale, pour faciliter le dépôt jusqu'au fond des trous
  2. BAugmenter la vitesse de dépôt
  3. CRefroidir la plaquette
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Réponse : A. Bloquer les atomes obliques et ne laisser passer que ceux proches de la verticale, pour faciliter le dépôt jusqu'au fond des trous

Le collimateur est une plaque percée en nid d'abeilles (rapport longueur/diamètre des trous d'environ 1 à 2) qui bloque les atomes pulvérisés arrivant obliquement et ne laisse passer que ceux se dirigeant presque perpendiculairement vers la plaquette. La couverture du fond des trous profonds s'en trouve améliorée. Toutefois, le film se dépose aussi sur le collimateur, ce qui réduit la vitesse de dépôt, et son décollement génère des particules ; la pulvérisation ionisée est aujourd'hui dominante.

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