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Dépôt (CVD et PVD)

Quel mécanisme maintient la plaquette sur son support par force électrostatique dans les équipements de dépôt et de gravure ?

  1. APince à vide
  2. BMandrin électrostatique (ESC)
  3. CFOUP
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Réponse : B. Mandrin électrostatique (ESC)

Le mandrin électrostatique applique une tension de quelques centaines de V à quelques kV à des électrodes noyées dans un support céramique et maintient la plaquette par la force électrostatique qui s'exerce entre eux. Utilisable sous vide et maintenant uniformément toute la plaquette, il permet de faire circuler de l'hélium entre la plaquette et le support pour transmettre la chaleur et contrôler précisément la température de la plaquette. Cette pièce conditionne directement l'uniformité de gravure et de dépôt, et le traitement des charges résiduelles lors du décollement (dechuck) est également important.

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