Welk mechanisme in depositie- en etsapparatuur zet de wafer met elektrostatische kracht vast op een tafel?

Antwoord: B. Elektrostatische chuck (ESC)

Een elektrostatische chuck legt een spanning van enkele honderden volt tot enkele kV aan op een elektrode in een keramische tafel en houdt de wafer vast met de elektrostatische kracht tussen wafer en tafel. Ze werkt ook in vacuüm en houdt de gehele wafer gelijkmatig vast, en door helium tussen wafer en tafel te laten stromen voor warmteoverdracht kan de temperatuur van de wafer nauwkeurig worden geregeld. Het is een onderdeel dat rechtstreeks de uniformiteit van ets en depositie bepaalt, en ook de afhandeling van resterende lading bij het loslaten (dechucking) is belangrijk.