박막 증착(CVD와 PVD)

성막이나 식각 장치에서 웨이퍼를 정전기력으로 스테이지에 고정하는 기구는 무엇인가?

  1. A진공 핀셋
  2. B정전 척(ESC)
  3. CFOUP
정답과 해설 보기

정답: B. 정전 척(ESC)

정전 척은 세라믹 스테이지 내부의 전극에 수백 V~수 kV의 전압을 걸어 웨이퍼와의 사이에 작용하는 정전기력으로 흡착·고정합니다. 진공 중에서도 사용할 수 있고 웨이퍼 전면을 균일하게 잡을 수 있어, 웨이퍼와 스테이지 사이에 헬륨을 흘려 열을 전달하고 웨이퍼 온도를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 식각과 성막의 균일성에 직결되는 부품이며, 웨이퍼를 떼어낼 때(디척)의 잔류 전하 처리도 중요합니다.

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