選択比란?
せんたくひ
エッチングで、削りたい膜とマスクや下地膜とのエッチング速度の比。大きいほど下地を傷めにくい。
일본어 명칭: 選択比
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果
せんたくひ
エッチングで、削りたい膜とマスクや下地膜とのエッチング速度の比。大きいほど下地を傷めにくい。
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